Relationship between the growth rate and Al incorporation of AlGaN by metalorganic chemical vapor deposition
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作者: | Deng Y; Zhao DG; Le LC; Jiang DS; Wu LL; Zhu JJ (朱建軍); Wang H (王輝); Liu ZS; Zhang SM (張書明); Yang H (楊輝); Liang JW |
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刊物名稱: | Journal of Alloys and Compounds |
年: | 2011-01-21 |
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